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萊森光學色散共焦光譜位移傳感器集成了先進光譜分析和共焦成像技術(shù)的高精度位移和厚度的最新測量工具。實現(xiàn)了納米級精度的位移和厚度測量,可對樣品表面微小變化的進行精確測量。
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